萬級無塵車間警報器的安裝

電子工業(yè)萬級無塵車間中的配電設備宜采用暗裝，是為了防止或減少產(chǎn)生、積聚微粒，方便清潔，所以本條規(guī)定：

萬級無塵車間內的配電設備，應選擇不易積塵、便于擦拭的小型、暗裝設備，不宜設落地安裝的配電設備。

近年來，電子工業(yè)萬級無塵車間中，采用垂直單向流無塵車間時，下技術夾層高度常常為4m以上，此時，配電系統(tǒng)的配電箱基本上均布置在下技術夾層。

供應有特殊要求的生產(chǎn)工藝設備和公用動力設備等所需電力，應急發(fā)電機供應電力的能力約占全廠裝設功率的2%～15%，不間斷電源的電力供應能力占全廠裝設功率的1%~15%;一些大規(guī)模集成電路芯片制造工廠的應急發(fā)電裝置設有8～12臺，單臺發(fā)電能力1500-2000 kW。

無塵車間內下列場所應設置氣體泄漏報警裝置：

l易燃、易爆、有毒氣體的儲存分配間;

2易燃、易爆、有毒氣體的氣瓶柜和分配閥門箱內;等級要求嚴格和連續(xù)運轉、高純物質供應町靠和連續(xù)，這些都對無塵車間的電力供應提出了連續(xù)甚至不間斷供應和電壓穩(wěn)定性要求。