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無(wú)塵車間要求有五個(gè)方面:1,,耐久性 2.成本 3.適應(yīng)性 4.可維護(hù)性 5.清洗
1.耐久性:無(wú)塵室要有符合環(huán)境、無(wú)塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動(dòng)、設(shè)備、空氣過(guò)濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性,同時(shí)也依賴無(wú)塵室等級(jí)來(lái)建造。半導(dǎo)體Fabs傾向選擇鋁,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物質(zhì)。
2.清洗:在制藥和生物工學(xué)工業(yè),無(wú)塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止慮過(guò)性病毒或細(xì)菌的污染之特性。在biotech市場(chǎng),清洗真正地是一個(gè)重要的企業(yè)。
3.成本:微電子C/R建設(shè)費(fèi)可能花費(fèi)到億。Fab能更快的被建造起來(lái),產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場(chǎng)。許多半導(dǎo)體公司的口號(hào)是較便宜和較好的。然而“錢(qián)”將成為一個(gè)很重要的考慮因素。
4.適應(yīng)性:一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢(qián),而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動(dòng)或改變而不會(huì)招致極大的損失。C/R 的擁有者和設(shè)計(jì)者的能力為改變一 C/R的關(guān)鍵,所以他們從不將最初的設(shè)計(jì)定型。
5.維護(hù)性:對(duì)無(wú)塵室 C/R 而言,較嚴(yán)格要求的部分為地板、天花板,以及墻壁的部分。 至于維修的問(wèn)題,對(duì)材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應(yīng)有其優(yōu)先級(jí)。在應(yīng)用力面、天花板、地板及墻壁三者之中最重要的為天花板,其包含 HEPA 及 ULPA 等濾網(wǎng),其可過(guò)濾掉房間的微粒子,且其常會(huì)因各個(gè)不同的需要,便其分開(kāi)來(lái),供應(yīng)各個(gè)不同區(qū)域的小房間,曾有人說(shuō) :若建造之預(yù)算因某種原因被限制,除了少數(shù)的小錢(qián)外,其天花板將趨于更貴的地步,其實(shí)天花板是一個(gè)頗復(fù)雜的系統(tǒng)其必須嚴(yán)格地過(guò)濾粒子,故其設(shè)計(jì)必須精確。
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