無塵潔凈室能耗成本分析：

  　“據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，潔凈室的能耗是一般寫字樓的10倍-30倍。我國的8英寸集成電路芯片制造廠，其潔凈室單位面積能耗達(dá)到1.48千瓦/平方米～1.93千瓦/平方米，比美國同類型工廠高15%?！鄙虾Ｊ惺覂?nèi)環(huán)境凈化協(xié)會(huì)秘書長王芳告訴《中國電子報(bào)》記者，“以上海某知名芯片廠為例，其全年耗電量的51%用于潔凈室運(yùn)行維護(hù)。如果能將這51%的能耗合理降低，對企業(yè)來說就意味著利潤的增長?！?br /> 　　不僅如此，潔凈室的建造費(fèi)用也十分驚人。《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》主要起草人之一秦學(xué)禮在接受《中國電子報(bào)》記者采訪時(shí)表示，ISO6級(jí)(相當(dāng)于美國標(biāo)準(zhǔn)FS2091000級(jí))潔凈室單位面積建造成本約為3000元/平方米～4000元/平方米，而ISO4級(jí)(相當(dāng)于美國標(biāo)準(zhǔn)FS20910級(jí))潔凈室單位面積建造成本則高達(dá)1萬元/平方米。
     由于潔凈室建設(shè)費(fèi)用很高且不同潔凈等級(jí)的建設(shè)費(fèi)用相差較大，因此，在潔凈室設(shè)計(jì)過程中，設(shè)計(jì)師不僅需要合理布置工藝設(shè)備以盡量減少潔凈區(qū)的面積，而且也要針對不同的生產(chǎn)環(huán)節(jié)設(shè)置不同的潔凈等級(jí)。目前，12英寸集成電路芯片制造工廠普遍采用“開放式潔凈室加微環(huán)境”的方式，將芯片制造過程中對空氣潔凈度要求十分嚴(yán)格的硅片加工過程布置在1級(jí)-4級(jí)的微環(huán)境裝置內(nèi)，而開放式潔凈室的潔凈度等級(jí)只需5級(jí)-6級(jí)，這樣就有效地降低了建設(shè)/運(yùn)營投資以及能耗。

      在我國，潔凈廠房的能源消耗是相當(dāng)大的。能源消耗主要用于生產(chǎn)設(shè)備用電和用熱、凈化空調(diào)系統(tǒng)的耗電/耗熱和冷負(fù)荷、冷凍機(jī)組的耗電、排氣裝置的耗電和耗熱、超純水和氣體的制取和輸送以及公用設(shè)施和照明的用電等。為達(dá)到潔凈室要求的空氣潔凈度等級(jí)，潔凈室的循環(huán)風(fēng)量很大。一般空調(diào)房間的每小時(shí)換氣次數(shù)只需要幾次，而潔凈室每小時(shí)換氣次數(shù)達(dá)到10次～600次。由于技術(shù)的原因，我國的潔凈室在能耗方面又高于歐美發(fā)達(dá)國家。

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