萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間的空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本，潔凈室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺(tái)，提高潔凈室等級(jí)。
缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。
2.萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間層流式：　　
層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級(jí)為Class 1~100。其型式可分為二種：　
(1)水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重?！　?
萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。

萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間地面設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求：
1  凈化車間地面滿足生產(chǎn)工藝要求。
2  萬(wàn)級(jí)凈化車間地面應(yīng)平整，耐磨、易清洗，不易積聚靜電，避免眩光，不開(kāi)裂等。
3  地面墊層宜配筋，潮濕地區(qū)墊層應(yīng)做防潮構(gòu)造。

潔凈廠房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚表面宜平整、光滑，位于地下的技術(shù)夾層應(yīng)采取防水或防潮、防霉措施。