萬級無塵車間室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。
 萬級無塵車間總的來講，潔凈室的凈化形式主要由空氣過濾法構(gòu)成，萬變不離其中，只是空氣過濾方式改變，又或者機(jī)組，空氣凈化設(shè)備的改變以及潔凈室工程安裝材料的選型等方案變動(dòng)，會造成潔凈室工程造價(jià)的浮動(dòng)而已?，F(xiàn)今潔凈室對送入空氣的凈化方法，主要和應(yīng)用最為廣泛的方法是空氣過濾法，應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級要求和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的特殊要求，合理配置選用空氣過濾器。

萬級無塵車間時(shí)左右潔凈性能的重要因素，一般的氣流速度是選在0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人、機(jī)器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高，將影響增加運(yùn)轉(zhuǎn)成本，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時(shí)，能以最適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。